適用于PERC, PERT, TOPCon, XBC, HJT, Perovskite, Tandem-Cell等高效電池技術(shù)的應(yīng)用
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可制備薄膜包括Al?O?, SiO?, TiO?, ZnO, SnO?, HfO?, ZrO?等
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單腔最大裝片量可達3360片/批次，兼容M10-M12硅片尺寸，升級切換簡單
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精確實現(xiàn)原子層級薄膜厚度控制（1-10 nm，可調(diào)），具備優(yōu)異的薄膜厚度均勻性
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獨立運行反應(yīng)腔體，確保最大化設(shè)備運行率（>99%）
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提供定制化復(fù)雜納米疊層工藝以及CVD兼容功能
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