用于 PERC, TOPCon, XBC等高效電池技術路線的應用
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優異的溫度控制和等離子控制系統，可兼容PECVD工藝，搭配超高載片量的石墨舟設計，在確保設備產能的同時大幅提升電池轉換效率
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精準制備薄膜厚度小于2nm的隧穿氧化硅，同時兼容多種材料與工藝，包括 SiO?/poly-Si(n+), poly-Si(p+), Al?O?/SiNx 等
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提供 TOPCon 量產工藝 PEALD/ PECVD 路線集成技術，鈍化接觸技術所需多晶硅原位摻雜濃度（1E20~1E21）可調
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針對新型PE-TOPCon電池技術核心的隧穿氧化層與多晶硅薄膜研發了可鍍導電膜、原位摻雜與無爆膜的管式PEALD/PECVD ToxPoly同管集成技術，研究成果被廣泛轉載并成功完成產業化
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